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【BB娱乐平台】【解析】硅片切割线痕的起因与降低方法

2021-02-02 04:14

本文摘要:没有线痕不会影响电池片的生产过程。这是太阳能硅片生产中最重要的问题。本文分析了多晶太阳能级硅片产生线痕的原因,并指出了不同的原因。 探讨了减少和防止硅片上线条痕迹的措施。硅棒的切割是半导体行业和太阳能光伏行业必不可少的工序,硅片的质量必然与前道工序的生产加工有关。线痕是影响硅片表面质量的最重要因素之一。 半导体行业拒收硅片表面质量,但线痕问题不大,因为硅片比较硬,切割后有打磨工艺去除线痕;但是光伏行业的硅片很厚(160-220um),所以在太阳能行业研磨工艺并不局限于此。

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没有线痕不会影响电池片的生产过程。这是太阳能硅片生产中最重要的问题。本文分析了多晶太阳能级硅片产生线痕的原因,并指出了不同的原因。

探讨了减少和防止硅片上线条痕迹的措施。硅棒的切割是半导体行业和太阳能光伏行业必不可少的工序,硅片的质量必然与前道工序的生产加工有关。线痕是影响硅片表面质量的最重要因素之一。

半导体行业拒收硅片表面质量,但线痕问题不大,因为硅片比较硬,切割后有打磨工艺去除线痕;但是光伏行业的硅片很厚(160-220um),所以在太阳能行业研磨工艺并不局限于此。线痕的缺失不会影响电池片的生产过程,也不容易造成碎片。1.线划的分类线划按形状分为单线划、密线划和软线划。硅片表面单线痕浅且深,线痕一般较小或可作为合格件剔除;密集的线痕反映出硅片表面整体或部分往往有许多由浅入浅的线痕;而软虚线标记往往出现不规则,但形状却像一个单线标记。

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但是,在线痕上可以清楚地看到没有硬点。对于单晶,线标记主要包括密集线标记和单线标记;对于多晶,三者都不存在,即硬点造成的一个线痕比单晶减少。

2.单线标志和单线标志的主要原因及处理措施是:1)跳线。一般情况下,跳线造成的线痕不会集中在晶棒的某一段,但有时整个棒也不会是跳线,从而造成切割后整个棒完全连线。跳线的主要原因如下:a、杂质(碎硅片和砂浆中的杂质)变成线槽或粘在丝网上。如果钢丝网在最后一次切割后没有清理整齐,或者砂浆过滤袋的质量经常出现问题,就更容易再次发生;b、导轮磨损太大,导轮使用寿命允许,导轮必须更换一段时间;c、钢丝张力太小,切丝刀位移太大。

一般这种情况在流程稳定的情况下很容易再次发生。如果是这种情况,需要调整流程;d、硅棒接入方位不好,不容易触发跳线。

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为了尽可能避免跳线,每次切割后都要进行清理工作,以保证钢丝网上的所有杂质都被气枪吹走。切割前,砂浆应循环足够的时间,以便砂浆中装载的所有杂质都能得到有效过滤。每次切割前,确认导轮使用时间是否比允许时间长得多,如果长得远远超过及时更换。

2)断线。即使断了的晶棒需要回收,也一定程度上不会产生线痕。

影响断丝的主要因素有:a、钢丝本身缺失,如钢丝的强度在底部;钢丝中含有夹杂物,在钢丝的断面照片中可以清楚地看到不相容相的颗粒;钢丝没有表面缺陷,这些杂质和缺陷在切入应力时成为变形公差的脆弱部位,更容易脱落。


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